日本展出直径460mm的单晶硅锭

2008年06月10日 10:19 6073次浏览 来源:   分类: 新技术

  日本Covalent Materials公司(原东芝陶瓷)在2007年11月15~16日该公司主办的技术展会上,展示了直径460mm的单晶硅锭。除可用于300mm硅片相应装置的内部零部件外,将来有望用于450mm硅片。
  此次展出的硅锭,可用作在300mm硅片刻蚀装置上部电极使用的喷淋板及设置在硅片放置台上的环型聚焦环等部件。上述产品该公司已投产,部件直径达400mm。在此基础上开发的大直径硅锭的生长技术是实现450mm硅片的重要基础技术。
  为实现450mm硅片,还必须要进一步降低硅锭内部的杂质和结晶缺陷,该公司利用各种模拟技术,优化结晶生长条件、硅片加工及研磨条件。半导体业计划2012~2014年在批量生产线上使用450mm硅片,该公司将配合这一计划做进一步开发。

责任编辑:CNMN

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