电化学纳米印刷术用于制造金属连接件

2008年09月24日 8:38 5890次浏览 来源:   分类: 新技术

  美国伊里诺伊州立大学的研究人员开发出了简单易行的电化学工艺用于金属互连线及其他纳米结构的直接布线。这种称之为S4技术的工艺,首先用聚焦离子束在冲压模具上刻出所需图形,模具由硫化银之类的超离子材料制成。超离子材料中,金属离子几乎可以在晶格中自由运动。
  将模具置于衬底上,施加电压,在界面接触点上引起电化学反应。反应产生的金属离子穿越交界面进入模具中。随着反应进行模具深入衬底,在其上产生与模具图形相反的图案,目前达到的水平是分辨率为50nm,研究人员正在开发更理想工具以便进一步提高分辨率。

责任编辑:kitty

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