日本Covalent Materials展出直径为460mm的单晶硅硅锭
2008年03月12日 0:0 1823次浏览 来源： 中国有色网 分类： 09年以前综合信息
日本Covalent Materials（原东芝陶瓷）在东京都内举行的技术展上展出了直径460mm的单晶硅硅锭。除用作300mm晶圆装置的内部部件外，将来还考虑用于450mm晶圆。
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