日厂研发大尺寸液晶屏退火工序准分子激光设备
2016年07月06日 10:28 10887次浏览 来源： 新材料在线 分类： 有色装备
在工业实际生产过程中，大型尺寸面板的制造，特别是50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造设备的制造过程中，液晶屏退火工序往往无法满足实际生产的要求。近日，日本的一家公司研发出大尺寸液晶屏退火工序的准分子激光设备，可以解决产业由来已久的痛点。
据悉，这家名叫Gigaphoton的日本公司6月24日宣布，开发出了用于制造平板显示器（FPD）的极小激光退火工序用准分子激光器“GIGANEX”系列。这是一款应用高可靠性半导体光刻用准分子激光器的退火用准分子激光器，是专供V-Technology制造的装置使用的专用机。通过导入已有的a-Si（非晶硅）面板制造工序，使a-Si向p-Si（多晶硅）结晶化，可制造用以往a-Si无法制造的8K等高精细面板。
另外还可实现以往激光退火工艺无法实现的大型面板尺寸的制造，可满足制造50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造设备工厂的要求。
不久前将该激光器配备在日本V-Technology公司的极小激光退火装置上，供货给了大尺寸液晶屏制造设备工厂用于LTPS（低温多晶硅）TFT液晶面板制造。
责任编辑：赵天宁
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